[14a-2T-1~12] 17.1 成長技術

[14a-2T-2] CH₄プラズマ処理による酸化グラフェンからのグラフェン生成

〇小幡 誠司¹、佐藤 稔¹、赤田 圭史¹、斉木 幸一朗¹ (1.東大新領域)

キーワード：グラフェン、プラズマ

メタンプラズマ処理によって酸化グラフェンからグラフェンを絶縁基板上に直接生成する手法の開発を行ってきたが、今回は生成条件の最適化を目指し、各種パラメータの影響の解明を試みたので報告する。