[14a-4E-1~7] 7.4 量子ビーム界面構造計測

[14a-4E-3] 中性子反射投影による埋もれた界面の可視化技術の検討(2)

〇桜井 健次^1,2、Jiang Jinxing^2,1、水沢 まり^3,1、伊藤 崇芳³、Li Dan^2,1、阿久津 和宏³、宮田 登³ (1.物材機構、2.筑波大数理、3.CROSS東海)

キーワード：多層膜、画像再構成、全反射現象

中性子反射率法を一層高度化し、これまで困難とされてきた薄膜・多層膜の埋もれた層・界面の可視化を可能にする技術について報告する。