[14a-4E-1~7] 7.4 量子ビーム界面構造計測

[14a-4E-5] 回折格子を用いたGISAXSイメージング ― コントラストの定量解析

〇矢代 航^1,2、加藤 宏祐³、百生 敦^1,2、池田 進⁴、和田 恭雄⁵、鈴木 芳生⁶、竹内 晃久⁶ (1.東北大多元研、2.ERATO百生量子ビーム、3.東北大工、4.東北大原子分子、5.慶大理工、6.JASRI)

キーワード：X線イメージング、小角X線散乱、微小角入射