[14a-4F-1~11] 6.2 カーボン系薄膜

△ [14a-4F-1] 犠牲用氷砂糖基板へのDLC膜の形成と自立膜化

〇山野 将史¹、宮本 優¹、今井 貴大¹、針谷 達¹、須田 善行¹、滝川 浩史¹、神谷 雅男²、瀧 真³、長谷川 祐史³、辻 信広³、西内 満美子⁴、榊 泰直⁴、近藤 公伯⁴ (1.豊橋技科大、2.伊藤光学工業、3.オンワード技研、4.原子力機構)

キーワード：DLC、フィルタードアーク蒸着法、自立薄膜