[14a-4F-1~11] 6.2 カーボン系薄膜

[14a-4F-3] アモルファス水素化炭素膜の多層膜モデルを用いた解析

〇久保 暢也¹、荒川 悟¹、サラユット トゥンミー¹、周 小龍¹、小松 啓志¹、齋藤 秀俊¹ (1.長岡技科大)

キーワード：アモルファス水素化炭素膜、多層膜モデル

プラズマ化学気相析出法(PECVD)を用いて構造の異なるアモルファス水素化炭素(a-C:H)膜を堆積し，単層モデルの光学定数と構造を比較することで構造特異性があることが報告されている．またX線反射率法 などを用いた多層モデルによる解析が報告されており,多層モデルによる解析を行うことで詳細なa-C:H膜の構造解析が期待できる.本研究ではPECVDを用いて膜厚およびバイアスの有無を変化させa-C:H膜を堆積し,異なる解析モデルにより密度と光学定数の解析を実施した.