2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

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15 結晶工学 » 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

[14a-PB6-1~7] 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

2015年9月14日(月) 09:30 〜 11:30 PB6 (白鳥ホール)

09:30 〜 11:30

[14a-PB6-5] Au(111)表面上におけるGeのSTM観察

〇若林 陽介1、橋口 浩平1、神子 公男2、弓野 健太郎1,3 (1.芝浦工大、2.東大生研、3.SIT グリーンイノベーション研究センター)

キーワード:結晶成長、半導体、薄膜

金属を用いた半導体の結晶化の挙動に関する知見を得るために、Au(111)薄膜上にGeを蒸着し、その挙動をSTMで観察した。すると、平坦で六角形の形をした島が多数見られた。これらの島は比較的短時間で消滅した。通常、Au(111)表面において短時間でのステップの変形や消滅は起きないため、これらの島の流動性は高いことが示唆される。