[14a-PB7-1~14] 16 非晶質・微結晶

[14a-PB7-10] スピンコート法で作製したアルミナ薄膜の表面パッシベーション効果Ⅲ

川島 瑞穂¹、〇渡邊 良祐¹、齋藤 洋司¹ (1.成蹊大院理工)

キーワード：パッシベーション、太陽電池、ゾルゲル法

我々はこれまで、スピンコート法で製膜したアルミナパッシベーション膜について研究を行ってきた。本研究でゾルゲル原料として用いているアルミニウムイソプロポキシドは、水蒸気雰囲気下での焼成によりその分解エネルギーが減少する。そのため低温で焼成できることが報告されている。今回は水蒸気雰囲気下で試料焼成を行うことで、作製したアルミナ膜からこれまでより低い焼成温度でも高いパッシベーション効果が得られた。