[14a-PB7-1~14] 16 非晶質・微結晶

[14a-PB7-2] LPD法により形成されたTiO₂薄膜の特性評価

〇(M1)田島 誠也¹、二村 真史¹、堀尾 吉已¹ (1.大同大工)

キーワード：酸化チタン、光触媒

我々は液相析出法(LPD：Liquid Phase Deposition)を用い、ガラス基板上にTiO₂薄膜を形成した。この薄膜試料を500℃で焼成することにより、光触媒活性度を高めることができた。SEMを用いて、焼成なしの試料と焼成時間を変化させた試料では薄膜の形態が変化することを観察した。光触媒活性度に対するTiO₂薄膜の形態、組成、結晶性の依存性について議論する。