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[14p-1B-1] 電子エネルギー損失分光法（EELS）による酸化物の原子分解能解析
キーワード：電子エネルギー損失分光、透過型電子顕微鏡、第一原理計算
電子エネルギー損失分光法（EELS）は透過型電子顕微鏡（TEM）を用いて測定され，特に最新の球面収差補正装置を用いることで原子分解能でスペクトルを取得することができる．さらに実験で取得されたEELSスペクトルを第一原理計算により解析することで，原子配位や価数，さらには物性に関する情報を得ることもできる．本発表ではEELSを用いた酸化物薄膜や非晶質材料に関する解析について報告する．