[14p-1C-1~16] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[14p-1C-12] 水素ラジカルによるクロロシラン系ガス還元プロセスの熱力学的考察

〇伊高 健治¹、角谷 正友²、橋本 拓也³ (1.弘前大学、2.物材機構、3.日大)

キーワード：水素ラジカル、ソーラーグレードシリコン、還元反応

シリコン太陽電池の原料である高純度シリコンはシーメンス法によって製造されるが、水素ラジカルによって収率を向上させることができる可能性がある。水素ラジカルという有限のライフタイムをもった種について、熱力学計算による反応の評価が可能であるかどうかを検討した結果について報告する