[14p-2F-1~14] 3.7 レーザープロセシング

[14p-2F-7] 半導体内部への誘起ナノ周期構造形成

〇下間 靖彦¹、清 智明¹、坂倉 政明²、三浦 清貴¹ (1.京大工、2.京大産連)

キーワード：フェムト秒レーザー、ナノ周期構造、半導体

フェムト秒レーザーの集光照射によって、材料内部においてその構造がナノスケールで変調したナノ周期構造が誘起される。ナノ周期構造の形成過程を解明する第一歩として、ナノ周期構造形成が可能なものとそうでないものを系統的に分類し、間接遷移型半導体とガラスにおける形成過程の類似性を見出した。