2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

16 非晶質・微結晶 » 16.3 シリコン系太陽電池

[14p-2S-1~13] 16.3 シリコン系太陽電池

2015年9月14日(月) 13:45 〜 17:30 2S (3Ｆラウンジ)

座長:石河 泰明(奈良先端大),松木 伸行(神奈川大)

13:45 〜 14:00

[14p-2S-1] PのCat -dopingを施したa-Si 膜に対する活性化アニール

〇瀬戸 純一1,2、大平 圭介1,2、松村 英樹1,2 (1.北陸先端大、2.JST CREST)

キーワード：活性化アニール、非晶質シリコン