[14p-2S-1~13] 16.3 シリコン系太陽電池

[14p-2S-13] Si ナノウォールセルの解析

〇吉葉 修平¹、平井 政和¹、市川 幸美¹、小長井 誠^1,2 (1.科学技術振興機構、2.東京都市大)

キーワード：ナノウォール、シリコン、太陽電池

Si太陽電池の高効率化の手段として、ナノウォール(NW)と名付けた幅が数nmのストライプ構造を持つトップセルと通常のセル構造のボトムセルからなるタンデムセルの研究を行っている。トップセルとして用いるナノウォールとしてイオン注入により予めp/n接合を表面に形成しておき、幅が約20nm、高さが約1µmサイズのウォール形成加工を行い、ウォール内に接合を持つ0.165cm²のセルを作製し、評価、解析を行ったので報告する。