2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

印刷

一般セッション(口頭講演)

16 非晶質・微結晶 » 16.3 シリコン系太陽電池

[14p-2S-1~13] 16.3 シリコン系太陽電池

2015年9月14日(月) 13:45 〜 17:30 2S (3Ｆラウンジ)

座長:石河 泰明(奈良先端大),松木 伸行(神奈川大)

14:45 〜 15:00

[14p-2S-5] 狭ギャップ高密度水素プラズマを用いたオンサイトSiH4生成装置の開発

〇篠田 史也1、垣内 弘章1、安武 潔1、大参 宏昌1 (1.阪大院工)

キーワード：プラズマ、エッチング、マイクロ波