[14p-2T-1~14] 17.1 成長技術

[14p-2T-13] その場SEMによる銅-インジウム合金上グラフェンの成長観察

〇星 雄大¹、高橋 惇郎¹、加藤 大樹¹、本間 芳和¹ (1.東理大理)

キーワード：グラフェン、その場、走査電子顕微鏡

これまでグラフェンの化学気相成長の研究が多数報告されてきた。しかし、その成長メカニズムは未解明な点が多い。その解明のためには成長過程を観察することが有効である。今回は広い視野をもっていて、十分にグラフェンの成長過程を追うことができる走査電子顕微鏡（SEM）のチャンバー内で試料を通電加熱させながら炭素源ガスを流すことで、大気にさらさずに連続してグラフェンの成長過程を観察すること（その場SEM）に成功した。