2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

印刷

一般セッション(口頭講演)

17 ナノカーボン » 17.1 成長技術

[14p-2T-1~14] 17.1 成長技術

2015年9月14日(月) 13:45 〜 17:30 2T (232)

座長:藤井 健志(富士電機),前橋 兼三(農工大)

15:15 〜 15:30

△ [14p-2T-7] プラズマCVDによる低活性化エネルギーのグラフェン成長プロセス

〇加藤 隆一1、南 聡史1、長谷川 雅考1,2 (1.TASC、2.産総研)

キーワード：グラフェン、成長技術