[14p-2T-1~14] 17.1 成長技術

[14p-2T-9] 熱CVDおよびマイクロ波表面波プラズマCVD併用による多数層グラフェンの合成

〇(PC)市村 進^1,2、内田 秀雄¹、脇田 紘一¹、林 靖彦²、梅野 正義¹ (1.中部大、2.岡山大)

キーワード：グラフェン、マイクロ波表面波プラズマCVD、熱CVD

我々は、マイクロ波表面波プラズマCVDでグラフェン 成長する上で、プラズマによる紫外光をカットする事で品質向上する事を報告してきた。本研究では、熱CVDでグラフェンの種結晶を予め成長させておき、紫外光カット 状態でマイクロ波表面波プラズマCVDによるグラフェンの追加成長で、高品質多層グラフェン合成を試みた。