[14p-2U-1~11] 17.4 デバイス応用

△ [14p-2U-8] カーボンナノチューブ片持ち梁の静電引力駆動

〇猪谷 健志¹、有江 隆之¹、竹井 邦晴¹、秋田 成司¹ (1.大阪府大工)

キーワード：カーボンナノチューブ

カーボンナノチューブ(CNT)機械共振器は超高感度質量・熱量センサ等の応用が期待されている。本研究では簡単な工程で製作できる静電引力駆動型の片持ち梁CNTナノ電気機械システム（CNT-NEMS）を提案する。