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[14p-4A-15] 新規素子構造による超伝導トンネル接合X線検出器のエネルギー分解能向上
キーワード:X線検出、高エネルギー分解能、Nb/Al STJ
Nb/Al STJ検出器では、準粒子はX線を主に吸収するNb層で発生、その後Al層に拡散する。同検出器で高エネルギー分解能を実現するには、準粒子トンネル確率向上及び準粒子再結合の抑制が有効であると考えられるため、Nb層中での準粒子密度低減による再結合抑制がエネルギー分解能の向上に有効である。そこで、準粒子密度を決めるNb層の厚さを変えた2種類のNb/Al STJ検出器を作製し、0.3KにてX線検出特性を評価した。