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[14p-4A-24] インターリーブ型4エレメント超伝導単一光子検出素子の特性評価
キーワード:超伝導ナノワイヤ、単一光子検出
超伝導ナノワイヤ単一光子検出器(SSPD)は、高検出効率、低暗計数、高時間分解能といった優れた特徴を有しているが、長い超伝導ナノワイヤに起因する寄生インダクタンス成分により、最大計数率が律速されてしまう事が問題点として挙げられる。これを解決するために、今回はインターリーブ型4エレメントSSPD素子の作製を行い、特性評価を行ったので報告する。