[14p-4E-1~21] 7.6 イオンビーム一般

[14p-4E-20] 凝縮固体表面における昇温TOF-SIMS

〇鈴木 拓¹、坂口 勲¹ (1.物材機構)

キーワード：二次イオン質量分析、低速イオン散乱分光、極低温表面

SIMSの昇温測定（TP-SIMS）から固体表面の融解を検出出来る可能性がある。まずこの可能性を検証する目的で、比較的素性が明らかとなっている固体希ガスを用いたTP-SIMS測定を進めた。次に、TP-SIMSと表面融解との関係を明らかにする上で不可欠となる極低温表面の構造解析を行うための、液体Heフリークライオスタットと２軸回転エネルギー分析器等から構成される計測システムを開発した。