[14p-4E-1~21] 7.6 イオンビーム一般

[14p-4E-9] イオン注入された石英ガラスの光学特性とイオン注入量モニターへの応用

〇田中 修平¹、上野 芳子¹、吉田 寿美江¹、松田 耕自²、永山 勉²、井内 裕² (1.ﾆｭｰｶﾞﾗｽﾌｫｰﾗﾑつくば研、2.日新ｲｵﾝ機器)

キーワード：イオン・固体相互作用、イオン注入、石英

半導体へのイオン注入で使用されるイオン種を石英ガラスに注入し，紫外線励起による発光強度の振る舞いを調べた．イオン種として，ボロンと窒素を使用した．ボロンは窒素に対して数倍の発光強度を示した．それらの励起波長と発光波長に関する発光特性は，強度の差はあるものの類似していた．そこでボロンを注入した石英の発光現象を調べ，注入量に直線的に発光強度が増加する領域と減少する領域があることがわかった．