[14p-PA10-1~16] 6.4 Thin films and New materials

[14p-PA10-15] A study on the preparation of tantalum- and tungsten-doped vanadium oxide films
as a detector material for infrared sensors

Taiki Arai¹, Kazuhiro Saito¹, Watanabe Ryosuke¹, 〇Yoji Saito¹ (1.Seikei Univ.)

Keywords:infrared sensor,phase transformation

我々はボロメータ型センサ用材料として、これまでVO₂中に少量のタングステン(W)とタンタル(Ta)を添加することにより相転移温度を低温側へシフト、ヒステリシスを減少させることを確認してきた。WとTaのドープ量を変化させ、不純物のドープ量がTCR・ヒステリシス・相転移温度に与える影響を調べた。