[14p-PA10-1~16] 6.4 薄膜新材料

△ [14p-PA10-5] ペチーニ法で作製したBi過剰BiFeO_xターゲットを用いて成膜した化学等量性の良いBiFeO₃薄膜の作製と評価

〇王 春¹、大島 佳祐¹、稲葉 隆哲¹、宋 華平¹、渡部 雄太¹、永田 知子¹、橋本 拓也²、高瀬 浩一¹、山本 寛¹、岩田 展幸¹ (1.日大理工、2.日大文理)

キーワード：BiFeO3、ペチーニ法、Bi過剰