[14p-PA10-1~16] 6.4 薄膜新材料

[14p-PA10-6] TiO₂多結晶シード層導入によるアナターゼ型TaON薄膜のガラス基板上成長

〇(D)鈴木 温^1,2,3、廣瀬 靖^1,2,3、中尾 祥一郎^2,3、長谷川 哲也^1,2,3 (1.東大院理、2.KAST、3.JST-CREST)

キーワード：酸窒化物、アナターゼ構造