[14p-PA11-1~8] 6.6 プローブ顕微鏡

[14p-PA11-8] 走査トンネル顕微鏡によるSi(111) 上のBaシリサイド初期成長表面の評価

〇久保 理¹、大塚 拓郎¹、岡坂 翔太¹、田畑 博史¹、片山 光浩¹ (1.阪大)

キーワード：シリサイド、バリウム、走査トンネル顕微鏡

Baシリサイドは新たな薄膜太陽電池材料として期待されており、その表面構造を知ることは電極との接合界面等の理解において重要である。しかし、STMを用いた研究では、Ba吸着量が1層以下のSi表面再構成に関する報告が多く、シリサイド表面の観察例はほどんどない。我々は、Si(111)基板上での熱反応堆積法においてBa供給速度を大きくすることでBaシリサイド薄膜の成長に成功し、その表面構造の評価を行った。