[14p-PA14-1~4] 6.5 表面物理・真空

[14p-PA14-3] Au/Ag/Ti 三層膜の脱濡れを用いた自己組織化Au-Ag合金ナノドットの作製

〇神子 公男¹、河 在浩²、谷口 公一³、弓野 健太郎³、河 在根² (1.東大生研、2.韓国光云大、3.芝浦工大)

キーワード：自己組織化、金属薄膜、脱濡れ

近年、我々はシード層を用いた熱凝集促進現象を利用し、AuやAgといった自己組織化貴金属ナノドットを作製する手法を開発した。本手法は、貴金属層と基板との間にシード層を挿入することで、脱濡れ（熱凝集）現象を促進させ、自己組織化を図る薄膜作製手法である。今回、シード層を用いた熱凝集促進過程を応用し、Au/Ag/Tiの三層からなる膜に熱処理を施し、自己組織化Au-Ag合金ナノドットの作製を試みた。