[14p-PA4-1~9] 3.15 シリコンフォトニクス

[14p-PA4-1] 220nm厚コアSi細線導波路を使用した偏波無依存波長フィルタの検討

〇岡山 秀彰^1,2、太縄 陽介^1,2、志村 大輔^1,2、八重樫 浩樹^1,2、佐々木 浩紀^1,2 (1.沖電気、2.PETRA)

キーワード：シリコン、波長フィルタ、光導波路

我々は、きわめて小型の光回路を実現できるＳｉ細線導波路を用い、光通信に必要な偏波無依存性を達成するための検討を行ってきた。ファンダリでは一般的には、220 nm厚のコアが使用されている。今回、このコア厚みで偏波無依存のマッハ‐ツェンダ干渉器（MZI）などを光加入者系用に実現したので報告を行う。