[14p-PA9-1~14] 6.2 カーボン系薄膜

△ [14p-PA9-2] 多結晶ダイヤモンドを用いたVDF/TrFEゲートFET構造の作製

〇(M1)古市 浩幹¹、柄谷 涼太¹、森 陽介¹、中島 宇史²、徳田 規夫¹、川江 健¹ (1.金沢大学、2.東京理科大学)

キーワード：ダイヤモンド、VDF/TrFE、FET