16:00 〜 18:00
[14p-PA9-4] Arのマイクロ波放電フローにおける有機ケイ素化合物の解離励起反応―バイアス印加時における発光分光計測―
キーワード：アモルファス炭化ケイ素膜
講演情報
一般セッション(ポスター講演)
6 薄膜・表面 » 6.2 カーボン系薄膜
[14p-PA9-1~14] 6.2 カーボン系薄膜
2015年9月14日(月) 16:00 〜 18:00 PA9 (イベントホール)
一般セッション(ポスター講演)
6 薄膜・表面 » 6.2 カーボン系薄膜
2015年9月14日(月) 16:00 〜 18:00 PA9 (イベントホール)
16:00 〜 18:00
キーワード：アモルファス炭化ケイ素膜