[14p-PA9-1~14] 6.2 カーボン系薄膜

[14p-PA9-9] 有機化合物/N₂混合気体放電を用いた高窒素含有a-CN_x:H薄膜の生成
―気相分光に基づく窒素源の特定―

〇茂木 紳令¹、伊藤 治彦¹ (1.長岡技科大工)

キーワード：アモルファス窒化炭素膜