[14p-PB11-1~6] 7.6 イオンビーム一般

[14p-PB11-1] ナノホールマスク注入ドーパントイオン分布の3次元アトムプローブ計測
ーシングルイオン注入法の照準位置精度の向上ー

〇(M1)矢野 真麻¹、千葉 悠貴¹、清水 康雄²、井上 耕治²、永井 康介²、谷井 孝至¹、品田 高宏³ (1.早大理工、2.東北大金研、3.東北大 CIES)

キーワード：シングルイオン注入法、3次元アトムプローブ