2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[14p-PB12-1~23] 15.4 III-V族窒化物結晶

2015年9月14日(月) 18:30 〜 20:30 PB12 (白鳥ホール)

18:30 〜 20:30

[14p-PB12-1] 透明酸化物被覆によるGaN系LEDの発光強度向上に関する研究

〇加畑 智基1、岡田 真由子1、堤 達哉1、三好 実人1、江川 孝志1、大園 修司2、本田 和宏2、座間 秀昭2 (1.名工大工、2.ULVAC)

キーワード:青色発光ダイオード

GaN系LEDの発光強度が、絶縁膜被覆により向上することが報告されている。本研究では、GaN系LEDのさらなる発光出力向上の可能性を検証するために、各種絶縁膜の構成とプロセス条件の影響を調べる実験に着手した。実験では、プラズマCVDによるSiO2膜、ALD法によるAl2O3膜などを用いLEDの光強度増減について調べた。