[14p-PB7-1~5] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

△ [14p-PB7-4] パワーデバイス用のGaNウエハのラマン散乱分光法による評価(3)

〇(M1)池田 直樹¹、山本 秀和¹ (1.千葉工大工)

キーワード：パワーデバイス、GaN