[15a-1B-1~10] 21.1 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

△ [15a-1B-6] β-Ga₂O₃(0\overline{1}0)単結晶のエッチピット観察

〇植松 卓巳¹、桝谷 聡士¹、森林 朋也¹、花田 賢志¹、輿 公祥²、佐々木 公平²、倉又 朗人²、嘉数 誠¹ (1.佐賀大院工、2.（株）タムラ製作所)

キーワード：酸化ガリウム