[15a-1B-1~10] 21.1 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[15a-1B-7] β-Ga₂O₃基板の結晶欠陥評価(3)

〇永井 哲也¹、野網 健悟¹、佐々木 雅之¹、中居 克彦¹、二木 登史郎¹ (1.日鉄住金テクノロジー㈱)

キーワード：酸化ガリウム、透過型電子顕微鏡