[15a-1B-1~10] 21.1 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[15a-1B-8] III族酸化物結晶の熱的安定性の比較

〇富樫 理恵¹、野村 一城¹、江口 千尋¹、木佐貫 裕美¹、後藤 健^1,2、Thieu Quang Tu^1,3、村上 尚¹、熊谷 義直¹、倉又 朗人²、山腰 茂伸²、Monemar Bo^3,4、纐纈 明伯¹ (1.東京農工大院工、2.タムラ製作所、3.東京農工大GIRO、4.Linköping Univ.)

キーワード：III族酸化物結晶、熱力学解析、熱処理