[15a-2Q-1~12] 8.4 プラズマエッチング

△ [15a-2Q-10] 水素ラジカルおよびフロロカーボンイオン（CF_x⁺）同時照射による
SiNエッチング機構の分子動力学シミュレーション解析

〇村上 雄一¹、礒部 倫郎¹、三宅 啓太¹、深沢 正永²、長畑 和典²、辰巳 哲也²、浜口 智志¹ (1.阪大院工、2.ソニー（株）)

キーワード：シリコン窒化膜、分子動力学法、ハイドロフロロカーボンプラズマ

HFCプラズマによる、シリコン窒化膜とシリコン酸化膜の選択性エッチングを対象に、プラズマ中の水素の役割について、分子動力学シミュレーションにより解析した。