[15a-2V-1~10] 8.2 プラズマ診断・計測

△ [15a-2V-8] レーザー吸収率測定によるレーザー駆動EUV光源の物理解明

〇(PC)松隈 啓¹、細田 達矢¹、藤岡 慎介¹、西村 博明¹、柳田 達哉²、神家 幸一郎²、戸室 啓明²、竹内 靖³、砂原 淳³ (1.阪大レーザー研、2.ギガフォトン、3.レーザー総研)

キーワード：EUV光源、レーザー駆動プラズマ

EUVリソグラフィー光源として、CO₂レーザー駆動SnプラズマによるEUV放射の開発が進められており、注入するレーザー光エネルギーからEUV放射エネルギーへの変換効率を現状の2-3 %から5 %程度へ上げることが要請されている。プラズマによるレーザー光の吸収率が変換効率を左右するため、その測定手法と測定結果について述べる。