[15a-2V-1~10] 8.2 プラズマ診断・計測

[15a-2V-9] 軟X線光源用多価電離プラズマのイオン価数・電子密度・電子温度計測手法の開発

〇富田 健太郎¹、佐藤 祐太¹、Nima Bolouki¹、江口 寿明¹、築山 晶一¹、内野 喜一郎¹ (1.九大総理工)

キーワード：トムソン散乱、EUV

レーザー生成プラズマ方式は、低コストで軟X線光を生成可能である。我々はレーザー生成EUV光源用プラズマの電子密度・電子温度・イオン温度の同時計測を、協同的トムソン散乱法で進めてきた。さらなる計測の充実を図るため、現在は、イオン項計測に加え、電子項を同時に取得することを目指している。