[15a-4E-1~7] 7.1 X線技術

[15a-4E-3] シリコンドライエッチングを用いた 4 インチ X 線光学系開発の現状

〇中村 果澄¹、江副 祐一郎¹、石川 久美²、小川 智弘¹、佐藤 真柚¹、沼澤 正樹¹、武内 数馬¹、寺田 優¹、大橋 隆哉¹、満田 和久⁴、倉島 優一³、高木 秀樹³ (1.首都大、2.理研、3.産総研、4.宇宙研)

キーワード：シリコンドライエッチング

シリコンドライエッチングを用いた超軽量宇宙X線光学系の現状について報告する。
我々は Bosch process をベースとした、独自の微細穴X線光学系を開発してきた。これまでに Wolter I型光学系試作品で、世界初のX線結像を実証している。しかし、角度分解能には課題がある。我々はその主要原因である、微細穴の側壁の形状精度と垂直性に着目し、条件出しを行っており、その現状について報告する。