[15a-4E-1~7] 7.1 X線技術

[15a-4E-5] サブミクロン～ナノの識別能を有する新型Ｘ線２次元検出器（その２）

〇副島 啓義¹、柿原 利之²、阿井 稔晴²、森 邦芳²、渡辺 宏之² (1.応用科研、2.浜松ホトニクス)

キーワード：X線検出器、2次元検出器

サブミクロン～ナノの可視化と定量的識別機能の検証のために、ナノ可変スリットを開発した。ゲージブロックを巧妙に用いたものである。面と面、球面と平面など、様々な形状のスリットが可能で、2ｎｍ精度、５ｎｍステップで、0～10μｍ領域の可変である。このスリットを用いて、ミクロン～ナノ領域のスリットサイズで検証を行った。