[15a-PA1-1~30] 1.2 教育

[15a-PA1-3] 市販DLPプロジェクターを用いた低コストマスクレス露光装置の検討

〇馬場 岳斉¹、工藤 幸寛²、高橋 泰樹² (1.工学院大学大学院、2.工学院大学)

キーワード：マスクレス露光、DLPプロジェクター

本研究では、DLPプロジェクターを用いて安価で教育用途でも使いやすいマスクレス露光装置を提案する。