[15a-PA3-1~11] 3.8 光計測技術・機器

[15a-PA3-8] Brillouin散乱法を用いた圧電性ScAlN薄膜による励起フォノンの測定

〇川部 昌彦¹、柳谷 隆彦²、市橋 隼人¹、高柳 真司¹、鈴木 雅視²、松川 真美¹ (1.同志社大、2.早稲田大)

キーワード：Brillouin散乱、ScAlN圧電薄膜、励起フォノン

Brillouin散乱法は透明媒質中の微小領域の縦波および横波音速をGHz域で非破壊測定できる技術である．しかし，媒質中の熱フォノンによる微弱なBrillouin散乱を測定対象としているため測定時間が長く、音速測定精度が低い．本研究では測定試料の石英ガラスにScAlN圧電薄膜を成膜し，試料中に縦波フォノンを人工的に励起して，散乱強度の改善を試みた．