[15a-PB4-1~9] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[15a-PB4-4] 2次元プラズモニック吸収体を用いた波長選択型非冷却赤外線センサ：検知波長の半値幅制御

〇小川 新平¹、藤澤 大介¹、木股 雅章² (1.三菱電機株式会社、2.立命館大学)

キーワード：赤外線