[15p-1B-1~18] 21.1 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

△ [15p-1B-2] β-Ga₂O₃上γ-Al₂O₃膜のエピタキシャル構造と容量電圧特性評価

〇服部 真依¹、大島 孝仁¹、若林 諒¹、佐々木 公平²、増井 建和²、倉又 朗人²、山腰 茂伸²、吉松 公平¹、大友 明^1,3 (1.東工大院理工、2.タムラ製作所、3.元素戦略)

キーワード：酸化ガリウム