[15p-1D-1~11] 窒化物半導体特異構造の科学　～表面・界面の制御と物理～

[15p-1D-9] 酸性アモノサーマル法合成GaN種結晶上にハイドライド気相エピタキシャル成長させたm面自立GaN基板の電気的・光学的特性

〇小島 一信¹、塚田 悠介²、古川 えりか¹、斉藤 真^1,2、三川 豊²、久保 秀一²、池田 宏隆²、藤戸 健史²、上殿 明良³、秩父 重英¹ (1.東北大多元研、2.三菱化学(株)、3.筑波大物理工)

キーワード：GaN