[15p-2S-1~14] 16.3 Bulk, thin-film and other silicon-based solar cells

[15p-2S-6] Evaluation of the effect of silicon oxide interlayer between spin-coated alumina passivation films and silicon substrates

〇Ryosuke Watanabe¹, Mizuho Kawashima¹, Yoji Saito¹ (1.Seikei Univ.)

Keywords:Solar cells,Passivation,Sol-gel

負の固定電荷を持つアルミナは、p型シリコン基板表面での良好な電界効果パッシベーションが期待できる。ウェットプロセスで作製したパッシベーション膜は、特に低温での試料焼成時に高い界面準位密度が問題となったため、これを界面酸化膜により低減させることを試みた。アルミナは、アルミニウムイソプロポキシド溶液を焼成して形成した。焼成温度300°Cで作製した試料では、SiO₂層を界面に形成した場合に実効ライフタイムが増大した。