[15p-2S-1~14] 16.3 シリコン系太陽電池

[15p-2S-9] レーザーテラヘルツエミッション顕微鏡による太陽電池のPID評価

中西 英俊¹、〇北村 藤和¹、松尾 清隆¹、水端 稔¹、白澤 勝彦²、望月 敏光²、高遠 秀尚²、川山 巌³、斗内 政吉³ (1.SCREEN、2.産総研、3.阪大レーザー研)

キーワード：テラヘルツ、太陽電池、フェムト秒レーザー

レーザーテラヘルツエミッション顕微鏡（Laser Terahertz Emission Microscope：LTEM）は、フェムト秒レーザーパルスを分析対象に照射し、発生するテラヘルツ波を検出・イメージ化する技術である。今回、太陽電池評価用実証機を開発し、PID試験太陽電池モジュールについてLTEM計測を行いエレクトロルミネッセンス(EL)法と比較評価したので報告する。