2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

17 ナノカーボン » 17.1 成長技術

[15p-2U-2~11] 17.1 成長技術

2015年9月15日(火) 14:00 〜 16:45 2U (233)

座長:安藤 淳(産総研)

15:00 〜 15:15

△ [15p-2U-6] 電子ビーム蒸着Mo薄膜の(t-C4H9)2S2を用いた硫化による層状MoS2の形成

〇日比野 祐介1、石原 聖也1、澤本 直美1、大橋 匠2、松浦 賢太郎2、町田 英明3、石川 真人3、須藤 弘3、若林 整2、小椋 厚志1 (1.明大理工、2.東京工業大学、3.気相成長株式会社)

キーワード：2次元材料、CVD